高精度硅片檢查顯微鏡GP-600

太陽能檢測顯微鏡能生產高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數, 配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務。

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產品詳情
系統圖解
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一、儀器介紹

高精度硅片檢查顯微鏡GP-600主要用于太陽能電池硅片的觀察。太陽能檢測顯微鏡能生產高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰視野寬闊，配置有長工作距離物鏡，并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數, 配有高像素的工業相機,可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析，是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
單晶硅檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的大陽能晶體硅片檢測、位錯、劃痕、崩邊等；還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析。雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，會使磨片后的硅片易于發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格。顯微檢測幾乎是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一。

二、技術標準

標準配置
型號	GP-600
目鏡	大視野 WF10X(Φ18mm)
物鏡	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL 5X/0.12
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L10X/0.25
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L20X/0.40
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L50X/0.70
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L80X/0.80
目鏡筒	三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進行切換)
落射照明系統	6V 20W鹵素燈,亮度可調
落射照明系統	落射照明器帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍,綠)濾色片和磨砂玻璃
調焦機構	粗微動同軸調焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
轉換器	四孔(內向式滾珠內定位)
載物臺	雙層機械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:63mmX50mm)
透射照明系統	阿貝聚光鏡 NA.1.25 可上下升降
	藍濾色片和磨砂玻璃
	集光器，鹵素燈照明適用(內置視場光欄)
	6V 20W 鹵素燈,亮度可調
系統組成	電腦型(GP-600C) 1.太陽能硅片專用顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計算機（選購）
系統組成	數碼型(GP-600D) 1、太陽能硅片專用顯微鏡 2、適配鏡 3、數碼相機（選購）
選購件
名稱	類別/技術參數
目鏡	大視野 WF16X(Φ11mm)
目鏡	分劃 10X(Φ18mm) 格值0.1mm/格
物鏡	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L 40X/0.60
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L 60X/0.75 (彈簧)
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L 100X/0.85 (彈簧)
	平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL 100X/1.25 (彈簧,油)
轉換器	五孔(內向式滾珠內定位)
濾色片	綠濾色片
濾色片	黃濾色片
CCD接頭	0.4X
	0.5X
	1X
	0.5X帶分劃尺,格值0.1mm/格
攝像儀	DV-1帶USB和Video輸出
	DV-2帶USB輸出
	DV-3帶Video輸出
攝影裝置	2.5X/4X變倍攝影裝置帶10X取景目鏡
	4X對焦攝影裝置
	MD卡環
	PK卡環
數碼相機接頭	CANON(A610,A620,A630,A640)
分析軟件	二維圖像測量分析軟件