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太陽(yáng)能板檢測(cè)測(cè)顯微鏡配有落射照明、平場(chǎng)物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時(shí)配有偏光裝置,多晶硅片檢測(cè)測(cè)顯微鏡宜于微小和不方便倒置的試樣
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一、用途
高精度硅片檢查顯微鏡GP-500主要用于太陽(yáng)能板檢測(cè)顯微的觀察。太陽(yáng)能檢測(cè)顯微鏡能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng),成像較清晰視野寬闊,配置有長(zhǎng)工作距離物鏡,并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的工業(yè)相機(jī),可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析,是太陽(yáng)能電池硅片的普遍專(zhuān)用顯微鏡。
單晶硅檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的大陽(yáng)能晶體硅片檢測(cè)、位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,會(huì)使磨片后的硅片易于發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格。顯微檢測(cè)幾乎是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的檢測(cè)儀器之一。
二、系統(tǒng)簡(jiǎn)介
太陽(yáng)能板檢測(cè)測(cè)顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))通過(guò)光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像,太陽(yáng)能板檢測(cè)測(cè)顯微鏡并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。
三、技術(shù)參數(shù)
目鏡 |
大視野 WF10X(Φ18mm) |
物鏡 |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL 5X/0.12 |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL L10X/0.25 |
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長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL L20X/0.40 |
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長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL L40X/0.60 |
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長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL L60X/0.75 (彈簧) |
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目鏡筒 |
三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換) |
落射照明系統(tǒng) |
6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào) |
落射照明器帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃 |
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調(diào)焦機(jī)構(gòu) |
粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置 |
轉(zhuǎn)換器 |
四孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) |
載物臺(tái) |
雙層機(jī)械移動(dòng)式(尺寸:185mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm) |
透射照明系統(tǒng) |
阿貝聚光鏡 NA.1.25 可上下升降 |
藍(lán)濾色片和磨砂玻璃 |
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集光器, 鹵素?zé)暨m用 |
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6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào) |
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防霉 |
特有防霉系統(tǒng) |
系統(tǒng)組成 |
電腦型(GP-500C) 1.硅片專(zhuān)用顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計(jì)算機(jī)(選購(gòu)) |
數(shù)碼型(GP-500D) 1.硅片專(zhuān)用顯微鏡 2、適配鏡 3、數(shù)碼相機(jī)(選購(gòu)) |
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選購(gòu)件 |
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目鏡 |
大視野 WF16X(Φ11mm) |
分劃 10X(Φ18mm) 格值0.1mm/格 |
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物鏡 |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片) PL L 50X/0.70 |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片) PL L 80X/0.80 |
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濾色片 |
綠濾色片 |
黃濾色片 |
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CCD接頭 |
0.4X |
0.5X |
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1X |
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0.5X帶分劃尺,格值0.1mm/格 |
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攝像儀 |
DV-1帶USB和Video輸出 |
DV-2帶USB輸出 |
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DV-3帶Video輸出 |
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攝影裝置 |
2.5X/4X變倍攝影裝置帶10X取景目鏡 |
4X對(duì)焦攝影裝置 |
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MD卡環(huán) |
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PK卡環(huán) |
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數(shù)碼相機(jī)接頭 |
CANON(A610,A620,A630,A640) |
分析軟件 |
二維圖像測(cè)量分析軟件 |
4008920720
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